玻璃微熔壓力傳感器，是一種采用玻璃微熔技術(shù)來實(shí)現(xiàn)微小尺寸和高精度壓力測量的傳感器。
基于MEMS微熔技術(shù)，采用高溫?zé)Y(jié)工藝將硅應(yīng)變計(jì)與不銹鋼結(jié)構(gòu)結(jié)合，形成高精度的壓力測量元件。該技術(shù)通過測量玻璃微熔膜在受壓時(shí)的變形程度來確定壓力大小，具有較高的靈敏度和穩(wěn)定性。
玻璃微熔壓力傳感器，在汽車制造領(lǐng)域主要用于汽車車身及舒適系統(tǒng)、底盤及制動(dòng)系統(tǒng)、動(dòng)力及傳動(dòng)系統(tǒng)都有應(yīng)用，比如EMB 輪轂剎車力傳感器、EHB 線控剎車壓力傳感器、液壓懸架壓力傳感器、CO2 熱泵壓力傳感器等。
玻璃微熔壓力傳感器有哪些優(yōu)點(diǎn)
高精度：采用半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度輸出，微功耗。過載能力和溫度范圍寬。
穩(wěn)定性好：不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，無“O”型圈密封，無泄漏隱患，有良好的穩(wěn)定性，可以在使用過程中長期保持穩(wěn)定的測量性能。
抗干擾能力強(qiáng)：適應(yīng)高壓力過載，能有效抵御瞬間壓力沖擊，有效抵抗外界干擾信號(hào)的影響，確保測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。
批量可靠性、重復(fù)性：玻璃微熔工藝可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)貼片（高溫?zé)Y(jié)粘貼），適合大批量的生產(chǎn)，更有經(jīng)濟(jì)性能。
玻璃微熔壓力傳感器的工作原理基于MEMS技術(shù)：
采用硅應(yīng)變計(jì)，通過高溫?zé)Y(jié)與不銹鋼膜片結(jié)合為一體。當(dāng)不銹鋼膜片的另一側(cè)受到氣體或液體的壓力時(shí)，膜片產(chǎn)生微小的形變。形變引起膜片上燒結(jié)的硅應(yīng)變計(jì)電阻發(fā)生變化，進(jìn)而形成一個(gè)與壓力成正比的電壓輸出。電橋的差動(dòng)輸出經(jīng)過溫度補(bǔ)償及歸一化處理，再經(jīng)過信號(hào)放大處理，轉(zhuǎn)換為工業(yè)用的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)(如4~20mA或0~5V)，以適應(yīng)工業(yè)使用環(huán)境。
隨著工業(yè)自動(dòng)化和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)傳感器精度和穩(wěn)定性的要求越來越高，玻璃微溶壓力傳感器作為高精度、高穩(wěn)定性的壓力測量元件，其市場需求和應(yīng)用領(lǐng)域正在不斷擴(kuò)大。
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